X선 분석 시스템의 글로벌 솔루션 파트너이자 리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)(본사: 도쿄도 아키시마; CEO: 준 카와카미(Jun Kawakami))의 그룹사인 리가쿠(Rigaku Corporation)가 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면의 미량 오염 분석을 지원하는 전반사 X선 분석 시스템 ‘XHEMIS TX-3000’의 판매를 시작한다고 공식 발표했다. 이번 시스템은 반도체 제조 과정에서 발생할 수 있는 미량 오염 물질을 빠르고 정확하게 검출하여 생산 효율성을 높이고 제품의 품질을 향상시키는 데 기여할 것으로 기대된다.
리카구(Rigaku Corporation)는 지난 30년간 X선 분석 기술 분야에서 선도적인 위치를 점유해 왔으며, 특히 반도체 산업 분야에 특화된 솔루션을 제공해 왔다. ‘XHEMIS TX-3000’은 최신 X선 검출 기술과 자동화된 분석 시스템을 결합하여 웨이퍼 표면에 존재하는 금속, 세척제, 불순물 등 다양한 오염 물질을 실시간으로 분석할 수 있도록 설계되었다. 시스템의 핵심 기술은 리가쿠의 독자적인 ‘토탈 엑스(Total X)’ 분석 플랫폼을 기반으로 하며, 반도체 제조 공정의 각 단계에 최적화된 맞춤형 솔루션을 제공한다.
이번에 공개된 ‘XHEMIS TX-3000’은 웨이퍼의 크기, 형태, 재질에 상관없이 빠르고 정확한 분석을 수행할 수 있도록 설계되었다. 시스템은 3차원 이미징 기술을 활용하여 웨이퍼 표면의 오염 분포를 시각적으로 확인하고, 분석된 데이터를 기반으로 오염 제거 방안을 제시한다. 또한, 분석 결과는 실시간으로 제공되어, 반도체 제조 공장의 운영자가 즉각적으로 대응할 수 있도록 지원한다.
리카구(Rigaku Corporation)는 “XHEMIS TX-3000은 반도체 산업의 경쟁력을 강화하는 데 핵심적인 역할을 수행할 것으로 확신한다”라고 밝혔다. ‘XHEMIS TX-3000’은 기존의 X선 분석 시스템보다 빠른 검출 속도와 높은 정확도를 제공하며, 더욱 효율적인 반도체 제조 공정 구축을 지원할 것이다.
리카구 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)의 CEO 준 카와카미(Jun Kawakami)는 “반도체 산업의 지속적인 발전을 위해 리가쿠는 혁신적인 기술 개발과 고객 맞춤형 솔루션 제공에 최선을 다할 것”이라고 강조했다. 리가쿠는 ‘XHEMIS TX-3000’ 판매를 시작으로 글로벌 반도체 시장에 더욱 활발하게 진출할 계획이다. 또한, 리가쿠는 ‘XHEMIS TX-3000’에 대한 기술 지원 및 교육 프로그램을 제공하여 고객의 만족도를 높이고, 장기적인 파트너십을 구축해 나갈 예정이다. 이번 시스템의 판매를 통해 리가쿠는 글로벌 반도체 시장에서 경쟁력을 강화하고, 혁신적인 기술 솔루션을 제공하는 기업으로서의 위상을 확고히 할 것으로 기대된다.