Rigaku Corporation은 전 세계적인 X-ray 분석 시스템 솔루션 파트너로서 Rigaku Holdings Corporation 그룹(본사: 도쿄 아키시마, CEO: 준 카와카미, 이하 “Rigaku”)에서 반도체 산업의 현장 분석 요구에 부응하는 최첨단 X-ray 분석 시스템, XHEMIS TX-3000의 판매를 공식 시작한다고 발표했다.
이번 신제품은 반도체 제조 공정의 다양한 단계에서 발생하는 재료의 성분 및 구조를 빠르고 정확하게 분석할 수 있도록 설계되었다. 특히, Rigaku는 반도체 공정의 변화에 대응하며, 고객의 생산성 향상과 품질 관리에 기여하는 것을 목표로 XHEMIS TX-3000을 개발했다.
XHEMIS TX-3000은 고성능 X-ray 발생기와 정교한 데이터 분석 소프트웨어를 통합하여 사용자에게 최적의 분석 환경을 제공한다. 또한, 시스템은 이동식으로 설계되어 생산 라인 내 어디에서든 설치하여 현장 측정 분석을 수행할 수 있다. 특히, 반도체 웨이퍼나 세미커피를 직접 분석할 수 있는 기능은 반도체 제조사의 품질 관리 및 공정 개선에 중요한 역할을 할 것으로 기대된다.
Rigaku는 XHEMIS TX-3000 출시와 함께 반도체 산업의 요구에 부합하는 다양한 기술 지원 서비스와 교육 프로그램을 제공할 계획이다. 이는 고객들이 시스템을 최대한 활용하고, 분석 결과를 효과적으로 활용할 수 있도록 지원하는 데 초점을 맞추고 있다.
Rigaku의 Jun Kawakami CEO는 “XHEMIS TX-3000은 반도체 산업의 혁신을 견인하는 핵심 솔루션이 될 것이다”라고 강조하며, “Rigaku는 고객과의 긴밀한 협력을 통해 반도체 산업의 발전에 기여할 것이다”라고 밝혔다.
현재 Rigaku는 XHEMIS TX-3000의 성능 검증을 위한 시범 운영 사례를 확대하고 있으며, 다양한 고객과의 협력을 통해 시스템의 활용 가능성을 지속적으로 연구하고 있다. Rigaku는 향후 XHEMIS TX-3000의 기능을 더욱 강화하고, 새로운 응용 분야를 발굴하기 위한 연구 개발에 적극적으로 투자할 계획이다.