Rigaku Corporation(이하 “Rigaku”)은 글로벌 X-ray 분석 시스템 솔루션 파트너로서, Rigaku Holdings Corporation(본사: 아키시마, 도쿄; CEO: Jun Kawakami; 이하 “Rigaku Holdings”)의 그룹 회사로서, 반도체 산업의 선도적인 공정 기술을 위한 최첨단 X-ray 분석 시스템인 XHEMIS TX-3000의 판매를 시작한다고 공식 발표했다.
이번 XHEMIS TX-3000은 반도체 웨이퍼의 표면에 박막을 형성하거나 이미 존재하는 박막의 두께, 조성, 결정 구조 등을 정밀하게 분석할 수 있도록 설계되었다. 특히, 에너지 분광법(X-ray Fluorescence, XRF) 기술을 기반으로 한 이 시스템은 높은 감도와 정확도를 제공하여, 반도체 제조 과정에서 발생하는 문제점을 신속하게 진단하고 해결하는 데 기여할 것으로 기대된다.
Rigaku는 지난 30년간 X-ray 분석 시스템 분야에서 축적된 기술력을 바탕으로, XHEMIS TX-3000에 최첨단 기술을 적용했다. 이 시스템은 다양한 종류의 반도체 소재를 분석할 수 있으며, 특히, 고집적 회로(IC) 제조 과정에서 발생하는 미량 원소 불순물 분석에 강점을 가지고 있다. 또한, 실시간 데이터 분석 기능을 제공하여, 연구자들은 분석 결과를 즉시 활용하여 공정 개발에 매진할 수 있다.
Rigaku는 XHEMIS TX-3000의 판매를 통해 글로벌 반도체 시장의 수요를 충족시키고, 기술 혁신을 선도하는 기업으로서의 입지를 강화할 계획이다. 이 시스템은 웨이퍼 제조 공정의 품질 관리, 새로운 소재 개발, 공정 최적화 등 다양한 분야에서 활용될 것으로 예상된다. Rigaku는 고객과의 긴밀한 협력을 통해 XHEMIS TX-3000의 활용 가치를 극대화하고, 반도체 산업 발전에 기여할 것이라고 강조했다.
Rigaku는 고객에게 시스템 설치, 운영, 유지보수 등 종합적인 기술 지원을 제공하며, 기술 교육 프로그램도 운영할 예정이다. 또한, XHEMIS TX-3000을 이용한 성공 사례를 공유하고, 고객 간의 정보 교류를 지원하는 커뮤니티를 운영하여, 고객 만족도를 높이는 데 주력할 계획이다. Rigaku는 지속적인 연구 개발을 통해 XHEMIS TX-3000의 성능을 향상시키고, 새로운 기능을 추가하여 고객의 요구에 부응할 것이라고 밝혔다.