X선 분석 시스템의 글로벌 솔루션 파트너이자 리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)(본사: 도쿄도 아키시마; CEO: 준 카와카미(Jun Kawakami))의 그룹사인 리가쿠(Rigaku Corporation)가 반도체 제조에서 웨이퍼 표면의 미량 오염 분석을 지원하는 전반사 X선 분석 시스템 ‘XHEMIS TX-3000’의 판매를 공식 시작한다고 발표했다. 리카구는 최첨단 반도체 제조 공정의 핵심인 웨이퍼 표면의 미량 오염 물질 분석을 통해 생산 효율성을 극대화하고 불량률을 최소화하는 데 기여할 것으로 기대된다.
‘XHEMIS TX-3000’은 X선 분석 기술을 기반으로 웨이퍼 표면에 흡수된 금속 불순물, 반도체 재료의 결정 결함 등을 실시간으로 정밀하게 분석하는 시스템이다. 이는 반도체 웨이퍼의 제조 과정에서 발생하는 미량의 오염 물질이 제품의 성능에 미치는 영향을 사전에 진단하고, 문제 발생 가능성을 예측하여 생산 공정 개선에 활용될 수 있도록 설계되었다. 특히, 웨이퍼 표면의 오염 분석은 반도체 성능 저하의 주요 원인 중 하나이며, 정확한 분석을 통해 불량 원인을 파악하고 개선하는 것은 반도체 제조업체의 경쟁력 강화에 필수적인 요소이다.
리카구는 총 300억 원의 연구 개발 및 투자 예산을 확보하며 반도체 분야의 혁신적인 기술 개발에 지속적으로 매진해 왔다. 특히, 반도체 제조 공정에서 발생하는 미량 오염 분석 기술은 반도체 산업의 지속적인 성장을 위한 핵심 기술로 평가받고 있으며, 리가쿠는 최첨단 분석 시스템을 통해 고객사의 생산 효율성 향상에 기여할 수 있음을 입증하고 있다. 리카구는 다년간의 축적된 기술 노하우와 축적된 데이터 기반의 분석 시스템을 통해 고객사의 요구에 최적화된 맞춤형 솔루션을 제공할 수 있다는 강점을 보유하고 있다.
리카구 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)는 준 카와카미(Jun Kawakami)를 CEO로 영대한 기업으로, 준 카와카미 CEO는 “리카구의 XHEMIS TX-3000 시스템은 반도체 제조 공정의 품질 관리에 혁신을 가져올 것이며, 고객사의 생산 효율성 향상에 크게 기여할 수 있을 것이다”라고 밝힌 바 있다. 리카구는 각종 국제 전시회와 학술대회에 적극적으로 참여하며 글로벌 시장에서의 입지를 강화하고 있으며, 지속적인 기술 개발과 서비스 개선을 통해 고객 만족도를 높이는 데 주력하고 있다. 또한, 리가쿠는 각종 연구 기관 및 대학과의 협력을 통해 새로운 기술 개발을 촉진하고 있으며, 글로벌 반도체 산업의 발전에 기여하고 있다. 리카구는 앞으로도 첨단 분석 시스템 개발에 대한 투자를 지속적으로 확대하며 글로벌 시장에서의 경쟁력을 강화해 나갈 계획이다.
